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脉冲激励MEMS电离式多参量检测传感器阵列技术

2020-08-07

项目名称

脉冲激励MEMS电离式多参量检测传感器阵列技术

项目

所属

单位

单位名称

西安交通大学

单位地址

陕西省西安市碑林区咸宁西路28号

联系人

张勇

联系电话

13572992871

邮  编

710049

电子邮箱

zhyong@mail.xjtu.edu.cn

单位网址

www.xjtu.edu.cn

技术领域

 新能源及节能技术

项目简介

在新能源与节能技术等领域,创新性的采用基于MEMS工艺的新型电离式微型传感器,对作业场所多种污染物气体、运行环境电磁场等多参量同时检测。电场检测量程0 - 100 kV/m; 3 dB带宽:2 GHz;带宽:1 kHz - 1 GHz;气体检测分辨率为ppt、ppb、ppm级,量程0-100 %;传感器封装尺寸小于10 mm ´ 14 mm ´ 3 mm,传感器阵列尺寸30 mm ´ 30 mm ´ 30 mm。该技术可高效推进新能源及节能等工程技术的发展,节约用能成本,提高用能经济性,实现节能减排。

效益及推广应用情况

课题组研制的基于微纳芯片的气体传感器产品,已经应用于陕西省渭南市渭化集团、陕西延长石油集团有限责任公司和陕西绿邦精细化工有限公司等8家单位,获得经济效益165.35万元。

合作方式

□股权投资       □风险投资      þ技术转让   

□许可使用       □联合开发      □委托研发   

□共建新研发、生产实体


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