脉冲激励MEMS电离式多参量检测传感器阵列技术
2020-08-07
项目名称 | 脉冲激励MEMS电离式多参量检测传感器阵列技术 | |||
项目 所属 单位 | 单位名称 | 西安交通大学 | ||
单位地址 | 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号 | |||
联系人 | 张勇 | 联系电话 | 13572992871 | |
邮 编 | 710049 | 电子邮箱 | zhyong@mail.xjtu.edu.cn | |
单位网址 | www.xjtu.edu.cn | |||
技术领域 | 新能源及节能技术 | |||
项目简介 | 在新能源与节能技术等领域,创新性的采用基于MEMS工艺的新型电离式微型传感器,对作业场所多种污染物气体、运行环境电磁场等多参量同时检测。电场检测量程0 - 100 kV/m; 3 dB带宽:2 GHz;带宽:1 kHz - 1 GHz;气体检测分辨率为ppt、ppb、ppm级,量程0-100 %;传感器封装尺寸小于10 mm ´ 14 mm ´ 3 mm,传感器阵列尺寸30 mm ´ 30 mm ´ 30 mm。该技术可高效推进新能源及节能等工程技术的发展,节约用能成本,提高用能经济性,实现节能减排。 | |||
效益及推广应用情况 | 课题组研制的基于微纳芯片的气体传感器产品,已经应用于陕西省渭南市渭化集团、陕西延长石油集团有限责任公司和陕西绿邦精细化工有限公司等8家单位,获得经济效益165.35万元。 | |||
合作方式 | □股权投资 □风险投资 þ技术转让 □许可使用 □联合开发 □委托研发 □共建新研发、生产实体 |