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离子束光学精密加工设备

2020-08-05

离子束光学精密加工设备

LZSKS-1300离子束刻蚀设备用于高精度的光学元件表面加工。LZSKS-1300离子束刻蚀设备基于离子溅射原理,采用非接触加工方式,在加工异形和大口径高精度光学元件时,更具有优势是现代高精度光学学元件加工。

项目所属单位:西安工业大学

产品

应用

加工面形:

平面、球面、非球面、自由曲面

加工材料:

常见光学玻璃:K9、熔石英、微晶等

光学晶体:硅、锗、KDP等

金属:铝、铜等

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核心

技术

光阑法变口径离子束去除特性

    使用石墨作为光阑材料,不同口径光阑对出射离子束遮拦比例不同,能够获取不同峰值去除速率以及不同束径离子束。


加工方法:飞点、飞线(加工时间短、效率高)

以栅格方式为基础,通过调整离子束叠加间距,实现抛光的准确预测和快速收敛。


非球面加工方法(以离轴抛物面为例)

通过传统方法加工初始球面,根据非球面相对该初始球面的偏离量计算各点上的材料去除量,利用离子束加工技术从初始球面开始向下去除加工成非球面。


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