离子束光学精密加工设备
2020-08-05
离子束光学精密加工设备 LZSKS-1300离子束刻蚀设备用于高精度的光学元件表面加工。LZSKS-1300离子束刻蚀设备基于离子溅射原理,采用非接触加工方式,在加工异形和大口径高精度光学元件时,更具有优势,是现代高精度光学学元件加工。 项目所属单位:西安工业大学 | ||
产品 应用 | v 加工面形: 平面、球面、非球面、自由曲面 v 加工材料: 常见光学玻璃:K9、熔石英、微晶等 光学晶体:硅、锗、KDP等 金属:铝、铜等 | |
核心 技术 | v 光阑法变口径离子束去除特性 使用石墨作为光阑材料,不同口径光阑对出射离子束遮拦比例不同,能够获取不同峰值去除速率以及不同束径离子束。 v 加工方法:飞点、飞线(加工时间短、效率高) 以栅格方式为基础,通过调整离子束叠加间距,实现抛光的准确预测和快速收敛。 v 非球面加工方法(以离轴抛物面为例) 通过传统方法加工初始球面,根据非球面相对该初始球面的偏离量计算各点上的材料去除量,利用离子束加工技术从初始球面开始向下去除加工成非球面。 | |