东北大学科技成果

1.成果名称

用于制造柔性基底多层薄膜的卷绕镀膜系统

2.成果介绍

大型柔性卷绕真空镀膜专利技术成果转化涉及到的大型柔性卷绕真空镀膜技术，主要用于新材料和新能源领域，通过大型柔性卷绕真空镀膜机的设计和工艺分析，解决了目前该类产品设计和应用过程当中的核心问题，对大型真空镀膜装备腔室内多物理场耦合的精准模拟突破了国内同类设备依赖经验进行结构设计和工艺摸索的限制，使精准控制成为可能。同时，精准的温度控制克服了高速蒸发过程中产生的高温金属蒸汽在柔性基底上凝结带来孔洞效应的问题，这使以高效的真空蒸发镀膜工艺替代低效的磁控溅射工艺成为可能，增强了真空镀膜各种技术间的转换应用和优势汇集。对开发新一代大规模、连续式、高速新能源薄膜电池真空装备，为下一代服役于物联网和智能制造的智能传感器膜层制备等工艺装备的研发和制造提供了技术支撑。

3.应用场景

主要用于新材料和新能源领域，为解决在应用于新能源、新材料行业的大型高端镀膜机在设计过程中结构和工艺等技术问题和关键核心部件的设计与分析提供创新性技术指导