东北大学科技成果

1.成果名称 

等离子体氮化后退火腔室用磁悬浮永磁同步电机

2.成果介绍

本项目研制的等离子体氮化后退火腔室用磁悬浮永磁同步电机是等离子体氮化及快速退火设备的核心技术产品，等离子体氮化及快速退火设备的作用是在圆晶制造过程中向栅极氧化物中掺入高浓度的氮元素，并在高真空环境下固定氮元素抑制其流失，是半导体应用领域中必不可少的关键重要制程之一，磁悬浮永磁同步电机因其无接触无需润滑的特性成为等离子体氮化及快速退火设备不可或缺的关键技术。等离子体氮化后退火腔室用磁悬浮永磁同步电机的成功研制可解决我国目前面临的等离子体氮化后退火腔室关键技术卡脖子现状，助力半导体加工、微纳制造等领域的发展，这对我国集成电路产业的发展具有重要的意义。

3.应用场景

半导体制造外延和沉积环节关键设备

4.联系人

朱叶盛 18240328867

5.成熟度

已成功研制样机