国产化超精密圆光栅测量系统
2024-07-01
西安交通大学科技成果
成果名称:国产化超精密圆光栅测量系统
成果完成人:刘红忠
成果简介:针对惯性组件地面测试装备、国家角度计量基准装置用角位移传感器面临的技术封锁、产品禁运现状,研制了国产超精密圆光栅测量系统。经中国计量测试协会鉴定,示值误差最高达±0.033"、测量分辨力达0.002",示值重复性达0.005",达到世界先进水平。成果应用于航天九院13所、航天一院102所、中国工程物理研究院、中国计量科学研究院等单位,实现了对国外高端产品的国产替代,有力支撑了我国航空航天、先进制造、精密仪器等领域的自主、安全配套需求。